中科院长春光机所来大连光源科学研究室访问交流

11月11日,中国科学院长春光学光学精密机械与物理研究所(以下简称“长春光机所”)所长贾平一行6人来大连光源科学研究室交流访问。研究室主任杨学明院士、所科技处处长肖宇,以及我室全体骨干科研人员参加了此次活动。

来宾首先参观了大连相干光源的实验大厅和中控室,张未卿研究员向来宾简要介绍了光源的运行情况和成果产出。

在座谈会上,杨学明首先向贾平一行的到来表示欢迎,贾平简要介绍了此次来访的目的。张未卿研究员详细介绍了大连相干光源的运行情况,以及未来正在筹备建设的大连先进光源的设计指标;长春光机所应用光学国家重点实验室王丽萍研究员介绍了对方的科研项目进展,以及在EUV光刻领域的未来发展趋势和需求。随后,双方展开了交流,重点就EUV光刻技术在极紫外自由电子激光上的应用前景展开了深入细致的讨论。双方均表示,希望未来能够开展深入的科技合作,共同推进我国EUV光刻技术的发展。(文/孙洋)

 

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