2012年3月，由中科院大连化学物理研究所和上海应用物理研究所联合申请的“基于可调极紫外相干光源的综合实验研究装置”（大连相干光源）项目获得国家自然科学基金委资助，项目正式启动。

2012年11月30日，大连相干光源完成概念设计报告。

2013年8月7日，大连相干光源技术设计报告通过国际专家评审。

2013年12月15日，首台波荡器原型机研制成功。

2014年10月22日，项目基建动工奠基仪式，项目正式开工建设。

2016年9月24日，光源的主体安装工程全部完成，实现首次出光。

2016年11月25日，大连相干光源成功实现SASE饱和出光。

2017年1月15日，大连相干光源成功实现HGHG饱和出光，成为世界上最亮且波长完全可调的极紫外自由电子激光光源。人民日报、新华社、光明日报、经济日报、中国日报、中央人民广播电台、中央电视台、科技日报等中央主流媒体对其进行了报道。

2017年6月22日，大连相干光源开始第一个用户实验。

2018年5月，英国皇家化学会院士、英国布里斯托大学MichaelAshfold教授到大连相干光源开展星际化学科学研究，成为光源的首个国际用户。

2018年6月15日，大连相干光源项目顺利通过专家组现场验收。

2018年8月16日，高重复频率极紫外自由电子激光装置（大连先进光源）预研项目举行合作协议签约仪式，大连市人民政府和中科院大连化学物理研究所签署合作协议，大连市政府将在项目选址、建设资金上对大连先进光源预研项目予以支持。

2019年4月11日，大连先进光源预研项目举行技术方案论证会，专家组一致同意通过该项目方案论证，建议尽快立项并实施。

2019年4月12日，大连先进光源预研项目召开用户咨询会。

2019年7月，大连先进光源面向用户研讨会

2019年8月，大连相干光源正式纳入中科院重大科技基础设施平台管理。

2021年5月，大连相干光源科技委员会和大连相干光源用户委员会正式成立。